Vakuumkammer für PVD-Beschichtungsanlage

Kundenspezifische Vakuumkammer für eine industrielle PVD-Beschichtungsanlage.

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Vakuumkammer eingebaut in ein ITEM-Elementtisch

Das Projekt

Ausgangslage & Verwendung

Für eine industrielle Beschichtungsanwendung wurde eine Vakuumkammer mit kleiner Bedienerluke, grosser Serviceluke und Sichtfenster zur Prozessüberwachung benötigt. Trotz ihres hohen Gewichts sollten sich beide Luken einfach öffnen lassen.

Vakuumkammer PVD-Beschichtungsanlage
inneres der Vakuumkammer
Schauglas Vakuumkammer

Unsere Lösung

G+P Engineering AG übernahm Konzeptstudie, Auslegung, Konstruktion und technische Dokumentation und koordinierte die Fertigung mit einem Partnerlieferanten. Die Festigkeit der Kammer einschliesslich der Schweissnähte wurde mittels FEM-Berechnung nachgewiesen. Dank Gasdruckfedern lassen sich die schweren Luken mit geringem Kraftaufwand öffnen. Abschliessend wies G+P die Dichtheit der Kammer mit einem Helium-Lecktest nach. Nach der ersten Kammer folgten weitere Bestellungen.

Technische Spezifikation

  • Werkstoff: Edelstahl 1.4404
  • Innenmasse (L × B × H): 650 × 650 × 273 mm
  • Kammervolumen: 115L
  • Enddruck: ca. 6,5×10 -6 mbar
  • Leckrate: < 8×10-9 mbar x l/s
  • Bedienerluke und Serviceluke mit Gasdruckfeder-Unterstützung
  • Sichtfenster zur Prozessüberwachung

 

Nutzen für den Kunden

  • Zuverlässige Vakuumbedingungen, nachgewiesen durch Helium-Lecktest
  • Ergonomische Bedienung trotz schwerer Luken
  • Rechnerisch nachgewiesene Festigkeit von Kammer und Schweissnähten
  • Vollständige und nachvollziehbare technische Dokumentation
  • Ein Ansprechpartner von der Konzeptstudie bis zur geprüften Lieferung